EDI系统由增压泵、膜堆、电源以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道等组成。
超纯水终端混床树脂是在极其严格的工艺控制条件下制成的，树脂经过特别的处理，再生转型已接近极限化，故具有极高的再生效率和极低的杂质含量，并具有强的交换能力和很高的机械强度。高纯水终端混床树脂无需再生，就可广泛应用于电子工业高纯水制备；实验室高纯水；高效液相色谱用高纯水；含放射物处理；药品；半导体行业；凝结水精制以及其它各种水处理工艺的终端混床精处理。高品质的混床树脂可确保出水水质达到稳定，产水水质16~18.2MΩ，生产极高质量的高纯无硅纯水。
纯水供水循环采用254nm紫外线杀菌、抛光混床脱盐、0.22微米过滤，达到用户的纯水水质要求。
为保证纯水的品质以及生物学指标，在纯水制备的终端设置精度为0.22μm的微滤膜过滤器，用于截留去除脱盐设备出水中的微粒以及细菌尸体。由于0.22μm的微滤膜膜过滤器为整个脱盐工艺的最后一道处理设备，因此又称终端过滤器。过滤器内装折叠式微孔滤膜，过滤精度0.22μm，过滤器出口设置压力表。
过滤器经过一段时间的运行后，滤膜表面截留了大量杂质，使滤膜堵塞，导致工作压力增加，当进出口压力差增大到某一设定值时，更换滤膜。终端过滤器由罐体、0.22μm滤芯、压力表组成。